蒸汽灭菌是将产品放在灭菌柜中，高温蒸汽释放的热量迅速使细胞蛋白凝结变性，达到灭菌的目的。纯蒸汽灭菌的特点是渗透性强。蛋白质和原生质体胶体用于湿热条件下的变性和凝固。酶系统很容易被破坏。蒸汽进入细胞并凝结成水，水可以释放潜在的热量，以提高温度并加强杀菌。

空气抽取设备用于抽取密闭灭菌柜中的空气等不可冷凝气体。因为空气等不凝气体的存在不仅阻碍了热量的传递，还阻碍了蒸汽渗透到产品中。

蒸汽灭菌温度是灭菌柜控制的主要蒸汽参数。各种细菌和微生物对热的耐受性因物种而异，因此根据灭菌物品的污染程度，所需的灭菌温度和作用时间也不同。产品的灭菌温度还取决于产品本身的耐热性以及高温对产品某些特性的损害。